PECVD 전기로 시스템
본 제품은 중형 슬라이드 오픈형 PECVD 시스템입니다. 이 PECVD 관로 시스템에는 플라즈마 RF 전원 공급 장치, 3방향 질량 흐름 가스 혼합 시스템(1-100 SCCM, 1-200 SCCM 및 1-200 SCCM 범위), 60mm 직경 개방형 관상로(진공 플랜지 및 연결 배관 포함) 및 기계식 펌프가 장착되어 있습니다.
제품 정보
| 제품 모델 | 슬라이딩 PECVD 관로 시스템——OYS-1200C-II-60-PECVD(Φ60) |
| 주요 제품 매개변수 | 전원 공급 장치: 220V 50/60Hz; 정격 출력: 3.1kW; 최대 작동 온도: 1200°C(0.5시간 미만); 연속 작동 온도: ≤1100°C; 권장 가열 속도: ≤10°C/min; 가열 구역 길이: 440mm; 열전대: K형 |
| 주요 특징 | RF 전원 공급 장치는 플라즈마 향상을 달성하고 실험 온도를 크게 낮출 수 있습니다. 노 본체를 미끄러뜨려 급격한 온도 상승 및 하강을 달성할 수 있습니다. 필름의 응력은 RF 전원 공급 장치의 주파수에 의해 제어될 수 있습니다. 화학량론은 공정 조정을 통해 제어할 수 있습니다. SiOx, SiNx, SiOxNy, (a-Si:H) 등 다양한 소재 증착 가능 |
| 발열체 | 철-크롬-알루미늄 합금선 0Cr21Al6Nb |
| 퍼니스 튜브 크기 | 선택적인 석영 관 직경: Φ60 |
| 온도 조절 시스템 | YD858 온도 컨트롤러가 포함되어 있습니다. PID 제어 및 자체 튜닝 조정, 지능형 50세그먼트 프로그래밍 가능 제어, 과열 및 소진 경보 기능 포함; 온도 조종 정확도: ±1℃ |
| 플라즈마 RF 전원 공급 장치 | 300W RF 전원 공급 장치; 출력 전력: 조정가능한 0~300W; RF 주파수: 13.56MHZ; 자동 매칭; 소음 수준 < 50dB; 냉각 방법: 공기 냉각; 입력 전압: 180~250V |
| 진공 밀봉 플랜지 인터페이스 | 표준 구성: 한 쌍의 스테인레스 스틸 진공 플랜지 및 고온 실리콘 씰링 링; 출구 플랜지는 3포트 플랜지 K16, KF25 및 Φ8.2입니다. 출구 플랜지는 벨로우즈를 사용하여 KF25 어댑터에 연결한 다음 진공 펌프에 연결할 수 있습니다. |
| 진공 펌프 | 이중 회전 날개 기계식 진공 펌프 TRP-12를 채택하십시오. 진공도는 10-2torr에 도달할 수 있습니다. 진공 연결 액세서리에는 관상로와 진공 펌프를 연결하기 위한 KF25 클램프와 스테인리스 스틸 벨로우즈가 장착되어 있습니다. |
| 가스 공급 시스템 | 3방향 질량 흐름 혼합 시스템 - GYS-3Z; 전원 공급 장치: 220V 50/60Hz; 측정 범위: 1-100SCCM, 1-200SCCM, 1-500SCCM; 기계식 압력계가 전면 패널에 설치되어 혼합 파이프에 연결되며; 압력 게이지 범위: -0.1-0.15MPa; 섞는 탱크 크기: Φ80*120mm; 내부 연결관은 Φ6.35입니다. |
| 용광로 구조 | 퍼니스 본체는 좌우로 이동할 수 있으며, RF 전원 공급 장치는 좌우로 이동할 수 있습니다. 퍼니스 본체와 RF 전원 공급 장치는 동일한 슬라이드 레일에 설치되며 동일한 석영 튜브를 사용합니다. |
| 인증기준 및 핵심구성요소 | 전체 기계의 핵심 구성 요소는 CE, UL, MET 및 기타 인증 표준을 준수합니다. 핵심 구성 요소에는 ABB 전기 구성 요소, UL 인증 전선 및 케이블, Omega, Yudian, Continental 기기 등이 포함됩니다. |
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Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. 2015년에 설립되었습니다. 초경량 에너지 절약형 고온 소재를 개발 및 생산하고 실험용 전기로, 산업용 전기로 및 비표준 맞춤형 전기로를 판매하는 전문 기업입니다. 전문 PECVD 전기로 시스템 제조업체 및 PECVD 전기로 시스템 공장입니다. 당사는 "품질로 생존하고 명성으로 발전한다"는 원칙을 고수하며 "실용성, 성실성, 효율성"이라는 경영 철학을 지지합니다. 세라믹, 야금, 전자, 유리 및 화학 공학 산업 분야의 고객에게 포괄적이고 고품질의 장비 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 또한 대학, 연구 기관 및 산업 및 광업 기업에 분말 소성, 세라믹 소결 및 고온 실험과 같은 서비스를 제공합니다. 동시에, 우리는 새로운 용광로 분야에서 Nengcheng의 경량, 에너지 절약 및 환경 친화적인 고온 알루미나 섬유의 전략적 개발을 추진하고 있으며, 국제적으로 선도적인 첨단 고온 장비 산업 서비스 제공업체가 되기 위해 노력하고 있습니다. PECVD 전기로 시스템 맞춤형.
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관상로는 수십 년 동안 고온 처리의 중추 역할을 해왔습니다. 그러나 잘 지정된 장치와 잘못 일치하는 장치 사이의 격차는 일관된 결과와 비용이 많이 드는 실패 사이의 차이를 의미할 수 있습니다. 고급 세라믹을 소결하든, CVD 실험을 수행하든, 제어된 분위기에서 합금을 처리하든, 구매를 결정하기 전에 성능이 뛰어난 고온 관상로와 단순히 뜨거워지는 관상로를 구별하는 것이 무엇인지 이해하는 것이 필수적입니다. 고온 관상로의 작동 원리 튜브로는 퍼니스 챔버 중앙에 있는 원통형 작업 튜브 내부에 놓인 재료를 가열합니다. 튜브를 둘러싼 가열 요소(일반적으로 저항선, 탄화규소(SiC) 또는 몰리브덴 이실리사이드(MoSi2))는 열을 내부로 방출하고 전도하여 튜브와 내용물을 목표 온도로 높입니다. 원통형 기하학은 우연이 아닙니다. 이는 가열된 길이를 따라 매우 균일한 열 환경을 생성하여 공정 일관성을 손상시킬 수 있는 온도 구배를 최소화합...
