PECVD 전기로 시스템
본 제품은 중형 슬라이드 오픈형 PECVD 시스템입니다. 이 PECVD 관로 시스템에는 플라즈마 RF 전원 공급 장치, 3방향 질량 흐름 가스 혼합 시스템(1-100 SCCM, 1-200 SCCM 및 1-200 SCCM 범위), 60mm 직경 개방형 관상로(진공 플랜지 및 연결 배관 포함) 및 기계식 펌프가 장착되어 있습니다.
제품 정보
| 제품 모델 | 슬라이딩 PECVD 관로 시스템——OYS-1200C-II-60-PECVD(Φ60) |
| 주요 제품 매개변수 | 전원 공급 장치: 220V 50/60Hz; 정격 출력: 3.1kW; 최대 작동 온도: 1200°C(0.5시간 미만); 연속 작동 온도: ≤1100°C; 권장 가열 속도: ≤10°C/min; 가열 구역 길이: 440mm; 열전대: K형 |
| 주요 특징 | RF 전원 공급 장치는 플라즈마 향상을 달성하고 실험 온도를 크게 낮출 수 있습니다. 노 본체를 미끄러뜨려 급격한 온도 상승 및 하강을 달성할 수 있습니다. 필름의 응력은 RF 전원 공급 장치의 주파수에 의해 제어될 수 있습니다. 화학량론은 공정 조정을 통해 제어할 수 있습니다. SiOx, SiNx, SiOxNy, (a-Si:H) 등 다양한 소재 증착 가능 |
| 발열체 | 철-크롬-알루미늄 합금선 0Cr21Al6Nb |
| 퍼니스 튜브 크기 | 선택적인 석영 관 직경: Φ60 |
| 온도 조절 시스템 | YD858 온도 컨트롤러가 포함되어 있습니다. PID 제어 및 자체 튜닝 조정, 지능형 50세그먼트 프로그래밍 가능 제어, 과열 및 소진 경보 기능 포함; 온도 조종 정확도: ±1℃ |
| 플라즈마 RF 전원 공급 장치 | 300W RF 전원 공급 장치; 출력 전력: 조정가능한 0~300W; RF 주파수: 13.56MHZ; 자동 매칭; 소음 수준 < 50dB; 냉각 방법: 공기 냉각; 입력 전압: 180~250V |
| 진공 밀봉 플랜지 인터페이스 | 표준 구성: 한 쌍의 스테인레스 스틸 진공 플랜지 및 고온 실리콘 씰링 링; 출구 플랜지는 3포트 플랜지 K16, KF25 및 Φ8.2입니다. 출구 플랜지는 벨로우즈를 사용하여 KF25 어댑터에 연결한 다음 진공 펌프에 연결할 수 있습니다. |
| 진공 펌프 | 이중 회전 날개 기계식 진공 펌프 TRP-12를 채택하십시오. 진공도는 10-2torr에 도달할 수 있습니다. 진공 연결 액세서리에는 관상로와 진공 펌프를 연결하기 위한 KF25 클램프와 스테인리스 스틸 벨로우즈가 장착되어 있습니다. |
| 가스 공급 시스템 | 3방향 질량 흐름 혼합 시스템 - GYS-3Z; 전원 공급 장치: 220V 50/60Hz; 측정 범위: 1-100SCCM, 1-200SCCM, 1-500SCCM; 기계식 압력계가 전면 패널에 설치되어 혼합 파이프에 연결되며; 압력 게이지 범위: -0.1-0.15MPa; 섞는 탱크 크기: Φ80*120mm; 내부 연결관은 Φ6.35입니다. |
| 용광로 구조 | 퍼니스 본체는 좌우로 이동할 수 있으며, RF 전원 공급 장치는 좌우로 이동할 수 있습니다. 퍼니스 본체와 RF 전원 공급 장치는 동일한 슬라이드 레일에 설치되며 동일한 석영 튜브를 사용합니다. |
| 인증기준 및 핵심구성요소 | 전체 기계의 핵심 구성 요소는 CE, UL, MET 및 기타 인증 표준을 준수합니다. 핵심 구성 요소에는 ABB 전기 구성 요소, UL 인증 전선 및 케이블, Omega, Yudian, Continental 기기 등이 포함됩니다. |
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Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. 2015년에 설립되었습니다. 초경량 에너지 절약형 고온 소재를 개발 및 생산하고 실험용 전기로, 산업용 전기로 및 비표준 맞춤형 전기로를 판매하는 전문 기업입니다. 전문 PECVD 전기로 시스템 제조업체 및 PECVD 전기로 시스템 공장입니다. 당사는 "품질로 생존하고 명성으로 발전한다"는 원칙을 고수하며 "실용성, 성실성, 효율성"이라는 경영 철학을 지지합니다. 세라믹, 야금, 전자, 유리 및 화학 공학 산업 분야의 고객에게 포괄적이고 고품질의 장비 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 또한 대학, 연구 기관 및 산업 및 광업 기업에 분말 소성, 세라믹 소결 및 고온 실험과 같은 서비스를 제공합니다. 동시에, 우리는 새로운 용광로 분야에서 Nengcheng의 경량, 에너지 절약 및 환경 친화적인 고온 알루미나 섬유의 전략적 개발을 추진하고 있으며, 국제적으로 선도적인 첨단 고온 장비 산업 서비스 제공업체가 되기 위해 노력하고 있습니다. PECVD 전기로 시스템 맞춤형.
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기본 구조 진공로 진공로는 제어된 저압 조건에서 작동하도록 설계된 여러 통합 시스템으로 구성됩니다. 핵심 구조에는 진공 챔버, 가열 시스템, 단열재 어셈블리, 진공 펌핑 장치 및 제어 시스템이 포함됩니다. 각 구성 요소는 열처리 중에 안정적인 열 및 대기 환경을 유지하는 데 특정한 역할을 합니다. 진공 챔버는 일반적으로 스테인리스강이나 탄소강으로 제작되며 고온과 외부 대기압을 모두 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 챔버 내부에는 단열재와 발열체가 작업 영역 전반에 걸쳐 균일한 온도 분포를 달성하도록 배열됩니다. 주요 구성 요소 및 기능 진공 시스템 및 펌핑 장치 진공 시스템은 가열이 시작되기 전에 퍼니스 챔버에서 공기와 잔류 가스를 제거합니다. 이 시스템은 일반적으로 기계식 펌프, 부스터 펌프, 고진공 펌프로 구성되어 순차적으로 작동합니다. 효과적인 진공화는 열처리 중 산화 및 오염을 최소화합니다. 발열체 및 단열재 가열 요...
