PECVD 관상로
PECVD 관상로는 석영 반응 챔버, 무선 주파수 전원 공급 장치, 다중 채널 가스 혼합 시스템, 진공 장치 및 반응 제어 시스템으로 구성된 플라즈마 기상 증착 관상로 시스템입니다. 퍼니스는 고순도 알루미나 섬유 소재를 사용하고 표면은 수입 고온 알루미나 코팅으로 코팅되어 기기의 수명을 연장하고 가열 효율을 향상시킵니다. 기존 화학기상증착법 앞에 고주파 유도장치를 설치해 반응가스를 이온화해 플라즈마를 발생시키는 방식이다. 플라즈마의 높은 활성은 반응을 가속화합니다. 균일성과 반복성이 좋고, 대면적 성막이 가능하며, 저온에서도 성막이 가능하고, 스텝 커버리지가 우수하며, 필름의 조성과 두께 조절이 용이하고 산업화가 용이합니다. 그래핀, 일산화규소, 질화규소, 산질화규소, 비정질규소(A-SI:H) 등의 박막 성장에 널리 사용됩니다.
제품 정보
| 퍼니스 튜브 크기(MM) | 작동 온도(°C) | 진공도 | 전력(KW) | 전압 | 발열체 | 가열 속도 |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0.1MPA 10PA 6.67*10-4PA | 3 | 220/380V | 저항선 | 1-20°C/분 |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
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Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. 2015년에 설립되었습니다. 초경량 에너지 절약형 고온 소재를 개발 및 생산하고 실험용 전기로, 산업용 전기로 및 비표준 맞춤형 전기로를 판매하는 전문 기업입니다. 전문 PECVD 관상로 제조업체 및 PECVD 관상로 공장입니다. 당사는 "품질로 생존하고 명성으로 발전한다"는 원칙을 고수하며 "실용성, 성실성, 효율성"이라는 경영 철학을 지지합니다. 세라믹, 야금, 전자, 유리 및 화학 공학 산업 분야의 고객에게 포괄적이고 고품질의 장비 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 또한 대학, 연구 기관 및 산업 및 광업 기업에 분말 소성, 세라믹 소결 및 고온 실험과 같은 서비스를 제공합니다. 동시에, 우리는 새로운 용광로 분야에서 Nengcheng의 경량, 에너지 절약 및 환경 친화적인 고온 알루미나 섬유의 전략적 개발을 추진하고 있으며, 국제적으로 선도적인 첨단 고온 장비 산업 서비스 제공업체가 되기 위해 노력하고 있습니다. PECVD 관상로 맞춤형.
최신 뉴스
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관상로는 수십 년 동안 고온 처리의 중추 역할을 해왔습니다. 그러나 잘 지정된 장치와 잘못 일치하는 장치 사이의 격차는 일관된 결과와 비용이 많이 드는 실패 사이의 차이를 의미할 수 있습니다. 고급 세라믹을 소결하든, CVD 실험을 수행하든, 제어된 분위기에서 합금을 처리하든, 구매를 결정하기 전에 성능이 뛰어난 고온 관상로와 단순히 뜨거워지는 관상로를 구별하는 것이 무엇인지 이해하는 것이 필수적입니다. 고온 관상로의 작동 원리 튜브로는 퍼니스 챔버 중앙에 있는 원통형 작업 튜브 내부에 놓인 재료를 가열합니다. 튜브를 둘러싼 가열 요소(일반적으로 저항선, 탄화규소(SiC) 또는 몰리브덴 이실리사이드(MoSi2))는 열을 내부로 방출하고 전도하여 튜브와 내용물을 목표 온도로 높입니다. 원통형 기하학은 우연이 아닙니다. 이는 가열된 길이를 따라 매우 균일한 열 환경을 생성하여 공정 일관성을 손상시킬 수 있는 온도 구배를 최소화합...
