PECVD 관상로
PECVD 관상로는 석영 반응 챔버, 무선 주파수 전원 공급 장치, 다중 채널 가스 혼합 시스템, 진공 장치 및 반응 제어 시스템으로 구성된 플라즈마 기상 증착 관상로 시스템입니다. 퍼니스는 고순도 알루미나 섬유 소재를 사용하고 표면은 수입 고온 알루미나 코팅으로 코팅되어 기기의 수명을 연장하고 가열 효율을 향상시킵니다. 기존 화학기상증착법 앞에 고주파 유도장치를 설치해 반응가스를 이온화해 플라즈마를 발생시키는 방식이다. 플라즈마의 높은 활성은 반응을 가속화합니다. 균일성과 반복성이 좋고, 대면적 성막이 가능하며, 저온에서도 성막이 가능하고, 스텝 커버리지가 우수하며, 필름의 조성과 두께 조절이 용이하고 산업화가 용이합니다. 그래핀, 일산화규소, 질화규소, 산질화규소, 비정질규소(A-SI:H) 등의 박막 성장에 널리 사용됩니다.
제품 정보
| 퍼니스 튜브 크기(MM) | 작동 온도(°C) | 진공도 | 전력(KW) | 전압 | 발열체 | 가열 속도 |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0.1MPA 10PA 6.67*10-4PA | 3 | 220/380V | 저항선 | 1-20°C/분 |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
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Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. 2015년에 설립되었습니다. 초경량 에너지 절약형 고온 소재를 개발 및 생산하고 실험용 전기로, 산업용 전기로 및 비표준 맞춤형 전기로를 판매하는 전문 기업입니다. 전문 PECVD 관상로 제조업체 및 PECVD 관상로 공장입니다. 당사는 "품질로 생존하고 명성으로 발전한다"는 원칙을 고수하며 "실용성, 성실성, 효율성"이라는 경영 철학을 지지합니다. 세라믹, 야금, 전자, 유리 및 화학 공학 산업 분야의 고객에게 포괄적이고 고품질의 장비 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 또한 대학, 연구 기관 및 산업 및 광업 기업에 분말 소성, 세라믹 소결 및 고온 실험과 같은 서비스를 제공합니다. 동시에, 우리는 새로운 용광로 분야에서 Nengcheng의 경량, 에너지 절약 및 환경 친화적인 고온 알루미나 섬유의 전략적 개발을 추진하고 있으며, 국제적으로 선도적인 첨단 고온 장비 산업 서비스 제공업체가 되기 위해 노력하고 있습니다. PECVD 관상로 맞춤형.
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1120°C에서 작동하는 7개 구역 메쉬 벨트로는 벨트 전체에 ±3°C를 유지하면서도 여전히 경도가 일관되지 않은 부품을 배송할 수 있습니다. 벨트 속도가 증가한 후 윤활 제거 구역의 이슬점이 표류하기 때문입니다. 이것이 분말 야금의 본질입니다. 용광로는 뜨거워지는 상자가 아니라 컨베이어가 부착된 화학 반응기입니다. 짧은 대답: 유지해야 하는 프로세스 창(윤활 제거 프로필, 분위기 품질, 소결 온도, 냉각 속도)을 기준으로 분말 야금 용광로를 선택한 다음 챔버 크기 또는 발열체 유형을 기준으로 선택하십시오. 200mm가 너무 짧은 퍼니스는 불편합니다. 대기 제어가 한 구역 부족한 용해로는 스크랩 발생기입니다. 결론은 미리 윤활 제거, 소결 및 냉각은 세 가지 별도 공정이며 독립적인 제어가 필요합니다. 철 기반 구조 부품의 경우 하중 전체에 걸쳐 ±5°C 균일성은 실용적인 바닥이지 프리미엄 옵션이 아...
