PECVD 관상로
PECVD 관상로는 석영 반응 챔버, 무선 주파수 전원 공급 장치, 다중 채널 가스 혼합 시스템, 진공 장치 및 반응 제어 시스템으로 구성된 플라즈마 기상 증착 관상로 시스템입니다. 퍼니스는 고순도 알루미나 섬유 소재를 사용하고 표면은 수입 고온 알루미나 코팅으로 코팅되어 기기의 수명을 연장하고 가열 효율을 향상시킵니다. 기존 화학기상증착법 앞에 고주파 유도장치를 설치해 반응가스를 이온화해 플라즈마를 발생시키는 방식이다. 플라즈마의 높은 활성은 반응을 가속화합니다. 균일성과 반복성이 좋고, 대면적 성막이 가능하며, 저온에서도 성막이 가능하고, 스텝 커버리지가 우수하며, 필름의 조성과 두께 조절이 용이하고 산업화가 용이합니다. 그래핀, 일산화규소, 질화규소, 산질화규소, 비정질규소(A-SI:H) 등의 박막 성장에 널리 사용됩니다.
제품 정보
| 퍼니스 튜브 크기(MM) | 작동 온도(°C) | 진공도 | 전력(KW) | 전압 | 발열체 | 가열 속도 |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0.1MPA 10PA 6.67*10-4PA | 3 | 220/380V | 저항선 | 1-20°C/분 |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
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Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. 2015년에 설립되었습니다. 초경량 에너지 절약형 고온 소재를 개발 및 생산하고 실험용 전기로, 산업용 전기로 및 비표준 맞춤형 전기로를 판매하는 전문 기업입니다. 전문 PECVD 관상로 제조업체 및 PECVD 관상로 공장입니다. 당사는 "품질로 생존하고 명성으로 발전한다"는 원칙을 고수하며 "실용성, 성실성, 효율성"이라는 경영 철학을 지지합니다. 세라믹, 야금, 전자, 유리 및 화학 공학 산업 분야의 고객에게 포괄적이고 고품질의 장비 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 또한 대학, 연구 기관 및 산업 및 광업 기업에 분말 소성, 세라믹 소결 및 고온 실험과 같은 서비스를 제공합니다. 동시에, 우리는 새로운 용광로 분야에서 Nengcheng의 경량, 에너지 절약 및 환경 친화적인 고온 알루미나 섬유의 전략적 개발을 추진하고 있으며, 국제적으로 선도적인 첨단 고온 장비 산업 서비스 제공업체가 되기 위해 노력하고 있습니다. PECVD 관상로 맞춤형.
최신 뉴스
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기본 구조 진공로 진공로는 제어된 저압 조건에서 작동하도록 설계된 여러 통합 시스템으로 구성됩니다. 핵심 구조에는 진공 챔버, 가열 시스템, 단열재 어셈블리, 진공 펌핑 장치 및 제어 시스템이 포함됩니다. 각 구성 요소는 열처리 중에 안정적인 열 및 대기 환경을 유지하는 데 특정한 역할을 합니다. 진공 챔버는 일반적으로 스테인리스강이나 탄소강으로 제작되며 고온과 외부 대기압을 모두 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 챔버 내부에는 단열재와 발열체가 작업 영역 전반에 걸쳐 균일한 온도 분포를 달성하도록 배열됩니다. 주요 구성 요소 및 기능 진공 시스템 및 펌핑 장치 진공 시스템은 가열이 시작되기 전에 퍼니스 챔버에서 공기와 잔류 가스를 제거합니다. 이 시스템은 일반적으로 기계식 펌프, 부스터 펌프, 고진공 펌프로 구성되어 순차적으로 작동합니다. 효과적인 진공화는 열처리 중 산화 및 오염을 최소화합니다. 발열체 및 단열재 가열 요...
